EBSD란?

Electron BackScatted Diffraction의 약어로 EBSP(Electron BackScattered Pattern)이라고도 한다.
집합조직을 분석하는 기법 중의 하나로 벌크 재료의 국소 영역의 방위를 분석할 수 있다.
EBSD 분석은 SEM 내에 패턴을 받을 수 있는 카메라를 설치하여 회절 패턴을 받아 수행하게 된다. 70도 기울어진 벌크 샘플에서 생성된 회절 패턴을 phosphor screen에서 받아 회절면을 분석하게 된다.
EBSD 분석은 작은 영역의 방위를 얻는 것으로 각 결정립의 결정방위를 알 수 있으므로 궁극적으로는 집합조직을 해석할 수 있다. 또한 상마다 각각의 결정 구조가 다르므로 상분석도 가능하게 된다.